第5回 基礎・応用講座

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慣性センサの信頼性について

主催 :特定非営利活動法人慣性センサ応用技術研究協会
後援 :日本信頼性学会
協賛:一般社団法人日本機械学会,公益社団法人土木学会,一般社団法人日本ロボット学会

日時 平成28年12月22日木曜日 開場 9時

場所 機械振興会館B3-7室
東京都港区芝公園3−5−8

参加費(一人):協会個人会員(日本信頼性学会会員,日本機械学会会員を含む) 9,000円,非会員18,000円,協会団体会員(2名まで)8,000円
参加と同時に個人入会する場合13,500円
※参加時入会を受け付けます.年会費4,500円で可能です。

パンフレット

趣旨:慣性センサの今後の展望を得ることは,応用技術にとっては極めて重要である.その場合シリコン系技術の全貌を捉えなければ,所謂MEMS慣性センサの全貌,将来像もつかめない.1項目として『慣性センサの信頼性』のなかでMEMS慣性センサの信頼性に進む前に,所謂MEMSデバイスの信頼性を取り上げることにする.つまり,今回のコースでは,敢えて慣性センサに特化しない.慣性センサのサプライヤが,信頼性データを提供できるかどうかは,応用側にとっては製品の企画・設計が成立するかどうかに影響を与える.社会インフラのモニタリングや異常検知への自動車用シリコンセンサの利用は典型例ではないか,と考えられる.また,信頼性は強度ばかりでなく,性能の信頼性,つまり,慣性センサの場合には測定の信頼性も当然検討対象であろう.

以上の考えから,下記の講演題目が組み立てられておりますので,万障お繰りあわせ頂きまして,ご参加下さいますよう,ご案内申し上げます.

スケジュール,講演者,講演題目とサマリ

時間割講演者(敬称略)演題
9:30-11:20OKIエンジニアリング
信頼性技術事業統括部 技術部長
味岡恒夫
電子デバイスの信頼性
センサーデバイスは車載用電子機器やIoTなどに広く使われるが、故障が重大な問題を引き起こすことが考えられ、信頼性の作りこみが重要である。本講演では広く実施させている電子部品の信頼性作りこみとそのための評価法について説明する。信頼性の作りこみは商品企画より、要求される機能、使用される環境、および要求される信頼性を決めることからはじまる。これに適する製品を設計し、開発に移る。開発段階では構造上の不備を観察により検出し、最適化を図る。また、故障解析により、発生した欠陥を低減し、製造段階や市場のおける故障を低減する。製品を出荷する前には保障期間を決定するための信頼性試験や使用環境の耐性を調査する環境試験が実施される。
11:30-12:00㈱メガチップス コーポレートマーケティング室 コーポレートマーケティング部
露口 剛司 
SiTimeシリコン振動子の長期信頼性
水晶発振器、水晶振動子と比べて大幅に小型なサイズと低消費電力、高精度を実現したSiTime社のユニークなMEMS発振器とその技術を紹介する。SiTimeのMEMS発振器はLSIに集積することも可能で、IoT、ウェアラブル向けのLSIなど、実装スペースに制約のあるアプリケーションに非常に有効である。水晶発振器を越える性能の高性能MEMS発振器も発表しており、この非常に高性能なMEMS発振器とその技術についても触れる。
12:00-13:00昼食休憩
13:00-14:50立命館大学准教授
安藤 妙子
単結晶シリコン薄膜の信頼性
単結晶シリコンは,MEMSデバイスで用いられる代表的な構造材料である.
デバイスの“カタチ”を成す材料として利用されているが,その一部は周辺環境に応じて曲がったり,振動したり,熱を受けたりすることにより“カタチ”が変わる.
これらを精確に予測するためにヤング率などの弾性定数が必要である.
また,修理が不可能なMEMSデバイスにおいて構造部材の破損はそのままデバイスの使用終了・廃棄へとつながる大きな問題である.単結晶シリコンでは構造強度にスケール効果が現れるため,マイクロ・ナノスケールでの強度評価が必要となる.マイクロスケールの単結晶シリコンの機械的特性評価について発表者の実験結果を元に解説する.
単結晶シリコンは,MEMSデバイスで用いられる代表的な構造材料である.
デバイスの“カタチ”を成す材料として利用されているが,その一部は周辺環境に応じて曲がったり,振動したり,熱を受けたりすることにより“カタチ”が変わる.
これらを精確に予測するためにヤング率などの弾性定数が必要である.
また,修理が不可能なMEMSデバイスにおいて構造部材の破損はそのままデバイスの使用終了・廃棄へとつながる大きな問題である.単結晶シリコンでは構造強度にスケール効果が現れるため,マイクロ・ナノスケールでの強度評価が必要となる.マイクロスケールの単結晶シリコンの機械的特性評価について発表者の実験結果を元に解説する.
15:00-16:45株式会社ベクトルダイナミックスCTO
協会理事長
梅田 章
多軸慣性センサの動的感度理論の一般化
線形性を仮定すると感度はマトリックスでなければならないことが導けるので,それを基礎に各種の実験を六軸のIMUについてまで行ってきた.今回は線形性を仮定せずに,非線形性までも含めた一般感度理論を導いてみせる.使用する数学のレベルは,国立大学教養課程の解析学,線形代数である.感度の一般理論の効能についても,論じる.さらに,線形性及び非線形性について国際規格ではどのように記述されているかについても述べる.
16:45-16:50梅田 章結び

申込:申込書をダウンロード.記入のうえoffice@traisa.org に添付ファイルとして送って下さい.
(申込期限 平成28年12月20日(火):延長しました

問い合わせ 事務局 office@traisa.org 電話 080-5036-0056