第6回(講演+討論)型講演会

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日時:平成29年3月21日(火曜日)午後3時開始,午後2時半開場

場所:東京大学本郷キャンパス 山上会館 地下1階001会議室

主催:特定非営利活動法人慣性センサ応用技術研究協会

協賛:日本機械学会

講師:土屋 智由(京都大学 工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 准教授)

題目:MEMSの設計論 ~静電容量型加速度センサを例にとって~

講演要旨:
電気・機械システムの集積化素子であるMEMSの設計論について,静電容量型MEMS加速度センサを例に取り上げて議論する.
1990年代前半に登場した静電容量型MEMS加速度センサは車載応用で研究開発が行われ,2000年台後半にゲーム機器や携帯電話への応用によって爆発的に生産量が増え,今やヘルスケア・インフラモニタ等のIoT社会におけるセンシングデバイスとして膨大な数のセンサの利用が期待されている.一般にMEMS加速度センサは小型で高性能な測定が可能だと思われているが,本質的に小型化は大幅な感度の低下につながり,これを機械・電気ノイズの制御,微小容量検出回路などで補っているのが現状である.また,設計においては機械構造,電気回路,さらには作製プロセス,材料特性の相互の関係を正しく理解し,そのバランスをとる必要がある.
本講演ではこれらの現状を再確認し,真に高感度な加速度センサを実現するための道筋を演者の取り組みとともに紹介し,出席者とMEMSの設計論を議論したい.
講演内容(予定)
1.MEMSの設計論
2.静電容量型慣性センサを解剖する
3.高感度化への道筋と課題

講師紹介:
講師の土屋智由先生は,豊田中央研究所に勤務された当時よりシリコン慣性センサとその信頼性の研究に従事されておられました.現在は京都大学でマイクロ・ナノシステムの加工,設計,プロセス,評価の研究にひきつづき従事されており,IEEE MEMS国際会議において2011年から6年間組織委員会委員,2013年の議長を務めるなど,名実ともにMEMSを代表される先生です.

スケジュール:講演2時間,討論2時間

参加費:
個人会員,3500円,一般,7000円
団体会員,3000円(2名まで),機械学会正員は当協会個人会員と同じ予定

申込期限:平成29年3月17日(金)午後5時

申込方法:

申込用紙に記入して,協会のメールアドレスへのメールに添えて申し込んでください.FAXの場合:042-308-0282.

問い合わせ:080-5036-0056,office@traisa.org

注意:長時間にわたりますので,お弁当とお茶が出ます.お弁当不要の場合には,その旨を申込用紙に必ず記入してください.お弁当を食べなくても,参加費は変わりません.